Thuật từ Holocaust bắt nguồn từ tiếng Hi Lạp halekaustann (ηολόκαυστον), nghĩa là "thiêu (kaustos) rụi (holos)" sinh tế hiến dâng cho một thần linh. Theo Từ điển tiếng Anh Oxford, từ đầu năm 1942 Holocaust đã được dùng để chỉ cách Hitler đối xử với người Do Thái, dù nó không được xem là cách dùng chuẩn mực mãi cho đến thập niên 1950. Đến cuối thập niên 1970, thuật từ này mang ý nghĩa qui ước được dùng để chỉ cuộc tàn sát diệt chủng của Quốc xã. Trong nghĩa hẹp, nó cũng được sử dụng để nói đến sự hủy diệt mà người Do Thái ở châu Âu phải gánh chịu. Một thuật từ trong Kinh Thánh, Shoa (שואה), đọc là Shoah hoặc Sho’ah, trong tiếng Hebrew nghĩa là "thảm họa", kể từ đầu thập niên 1940 trở nên thuật từ chuẩn trong tiếng Hebrew để chỉ cuộc thảm sát này.[16]